減薄砂輪
編號(hào)：
分類(lèi)：
減薄砂輪目前在電子行業(yè)的LED芯片、集成電路硅片等領(lǐng)域有廣泛應(yīng)用，主要應(yīng)用于半導(dǎo)體晶圓的減薄與研磨加工。
加工對(duì)象包括：分立器件，集成電路襯底硅片、藍(lán)寶石外延片，硅晶圓，砷化鎵，GaN晶片，硅基芯片等。其應(yīng)用工序主要有：背面減薄，正面磨削的粗磨加工和精研加工。
我公司減薄砂輪規(guī)格
a). 規(guī)格: 直徑200mm/250mm/265mm/280mm/300mm/380mm等，并可以根據(jù)客戶(hù)需求設(shè)計(jì)、制作各種單環(huán)、多環(huán)、斜齒減薄砂輪。
b) 粒度: 230/270，270/325，400/500，600/700；
c). 端面跳動(dòng): ≤0.04mm
d). 外圓跳動(dòng): ≤0.05mm
e). 動(dòng)平衡標(biāo)準(zhǔn): G1
我司生產(chǎn)的研磨砂輪加工效率高、研磨劃痕淺，研磨損傷層薄,加工質(zhì)量?jī)?yōu)，使用壽命長(zhǎng)，可降低研磨工序成本，目前已在多家客戶(hù)處替代進(jìn)口產(chǎn)品。
客戶(hù)實(shí)際使用數(shù)據(jù)：
1.配套于NTS研磨機(jī)的LN-297D系列砂輪單片可磨削2英寸襯底片18000片左右，4英寸襯底片5000片左右；
2.配套于GALAXY（凱勒斯）研磨機(jī)的LG-255D系列砂輪單片可磨削4英寸襯底片2000片左右；
3.配套于SPEEDFAM（創(chuàng)技）研磨機(jī)的LS-304D系列砂輪單片可磨削4英寸襯底片5000片左右。
韓國(guó)NTS、日本SHUWA，日本DISCO、臺(tái)灣WEC、美國(guó)ENGIS等。
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